該設備主要用于手機顯示模組及有關產品的觀察及尺寸測量。將工件放于顯微鏡下,使用不同的物鏡對產品進行觀察,對需要測量的位置使用帶光柵的高精密移動平臺結合數據處理軟件進行尺寸測量,使用數字相機進行實時影像處理、觀察以及拍照,實現對產品的尺寸以及外觀檢查。
測量顯微鏡結合了金相顯微鏡的高倍觀察能力,和影像測量儀的X、Y、Z軸表面尺寸測量功能,具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。
可廣泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產業鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫療器械、汽車行業、計量行業等領域的檢測。
覆蓋范圍廣:兼容多種測量和觀察需求
可操作性:操作更簡單、更高效
高度測量:實現對樣品表面凹凸的高精度測量
測量支持系統:對復雜形狀也能簡單、高精度地測量
設備測試參數:
設備型號 | LB-200 |
外形尺寸 | 700*800*800mm |
設備重量 | 85KG |
玻璃尺寸 | 230*160mm |
載物臺尺寸 | 3580*258mm |
行程 | 200*100*150mm |
光柵尺分辨率 | Z軸分辨率±0.1um;XY軸±0.5um(可選配±0.1um) |
光學系統 | 無限遠光學系統 |
移動方式 | 手動 |
物鏡 | 5X,10X,20X,50X |
目鏡 | 10X |
視野圖像 | 反像 |
觀察方法 | 明場/暗場自由切換 |
表面光源/底部光源 | 3W/LED同軸光源 |
XYZ定位精準度 | ±0.1um |
XYZ重復精度 | ±0.1um |
XY測量精度 | (3+L/100)um,“L”為被測量長度 |
Z測量精度 | (3+L/25)um,“L”為被測量高度 |
數顯器功能 | RS232輸出,XYZ清零/分中,公英制轉換,精度校正 |
Z軸控制器 | 高精度同軸搖輪控制上下移動 |
Z軸定位精度 | ±0.1um |
工作電壓 | AC220V |
額定功率 | 100W |
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